干法刻蚀的解释和意思

干法刻蚀的拼音及详细解释

【词语名称】干法刻蚀（ganfakeshi）

【词语拼音】gan fa ke shi

【词语读音】gàn fǎ kè shí

【词语简拼】GFKS

【网络释义】 干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术。当气体以等离子体形式存在时，它具备两个特点：一方面等离子体中的这些气体化学活性比常态下时要强很多，根据被刻蚀材料的不同，选择合适的气体，就可以更快地与材料进行反应，实现刻蚀去除的目的；另一方面，还可以利用电场对等离子体进行引导和加速，使其具备一定能量，当其轰击被刻蚀物的表面时，会将被刻蚀物材料的原子击出，从而达到利用物理上的能量转移来实现刻蚀的目的。因此，干法刻蚀是晶圆片表面物理和化学两种过程平衡的结果。

【分字组词】刻字组词 干字组词 法字组词 蚀字组词