【词语名称】聚焦环（jujiaohuan）
【词语拼音】ju jiao huan
【词语读音】jù jiāo huán
【词语简拼】JJH
【网络释义】 聚焦环和等离子体处理装置，在可以提高处理的面内均匀性的同时，与现有技术比较，还可以减小淀积对半导体晶片的周缘部分背面一侧的发生。
【分字组词】焦字组词 环字组词 聚字组词
