反应离子刻蚀的解释和意思

反应离子刻蚀的拼音及详细解释

【词语名称】反应离子刻蚀（fanyinglizikeshi）

【词语拼音】fan ying li zi ke shi

【词语读音】fǎn yìng lí zǐ kè shí

【词语简拼】FYLZKS

【网络释义】 反应离子腐蚀技术是一种各向异性很强、选择性高的干法腐蚀技术。它是在真空系统中利用分子气体等离子来进行刻蚀的，利用了离子诱导化学反应来实现各向异性刻蚀，即是利用离子能量来使被刻蚀层的表面形成容易刻蚀的损伤层和促进化学反应，同时离子还可清除表面生成物以露出清洁的刻蚀表面的作用。但是该刻蚀技术不能获得较高的选择比，对表面的损伤大，有污染，难以形成更精细的图形。

【分字组词】刻字组词 反字组词 子字组词 应字组词 离字组词 蚀字组词