等离子蚀刻机的解释和意思

等离子蚀刻机的拼音及详细解释

【词语名称】等离子蚀刻机（denglizishikeji）

【词语拼音】deng li zi shi ke ji

【词语读音】děng lí zǐ shí kè jī

【词语简拼】DLZSKJ

【网络释义】 等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种...

【分字组词】刻字组词 子字组词 机字组词 离字组词 等字组词 蚀字组词